特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化

特种/极端环境高动态MEMS压力传感器研发及产业化是昆山双桥传感器测控技术有限公司在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 项目内容及背景：耐高温、抗冲击、高动态、微小尺寸的压力传感器是航天航空发动机、各种飞行器、导弹、水下兵器、水面舰船、特种机器人、燃爆冲击测量、高铁测量等领域不可或缺的关键部件。长期以来，这类高端特种传感器技术及产品基本由国外四家公司垄断封锁并对中国实施禁运，严重影响到了中国的科技发展及国家安全。因此特种/极端环境下压力传感器的研发及产业化成为军事安全、国家工程、高速交通、新型能源、油气田勘采等领域亟待解决的关键问题。 项目来源及授权专利情况：该项目由昆山双桥传感器测控技术有限公司联合苏州大学、西安交通大学、苏州科技学院经过多年的产学研合作，共同攻关。项目来源于国家863计划MEMS重大专项课题《耐高温微型压力传感器实用化开发》、《油气田监测高性能微传感器及数字化系统》，主要针对特种、极端环境下压力传感器应用特点，采用硅隔离SOI耐高温MEMS压力传感器的薄膜制备、高灵敏度芯片设计、高可靠性传感器结构设计及高性能封装测试等技术，研制出具有自主知识产权的系列化微小尺寸、耐高温、耐冲击的高动态压力传感器，授权国家发明专利七项，发表学术论文二十余篇，制定相关国家标准五项。 项目主要技术内容及技术经济指标：特种/极端环境高动态MEMS压力传感器需要解决耐高温、耐冲击、超微小尺寸、高动态等关键难题。 合作方式：技术转让。 该技术面向昆山及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

适用于先进制造与自动化相关行业的企业技术升级、新产品开发与产学研合作，帮助昆山及周边企业快速获取高校院所科研成果并推动产业化落地。