力-电-磁多场耦合微纳米鼓泡仪

项目简介：北京大学工学院经过对现有的油压鼓泡实验装置基础上进行改进，提供一种电磁智能材料力电磁耦合行为的鼓泡实验装置。包括：计算机、驱动系统、微型油压泵、油压鼓泡装置、油管、薄膜样品、光学测试系统、数据采集处理器、电场加载及电学量测试系统、磁场加载及标定系统、以及磁学量测试系统。实现在力电磁三场全耦合下利用鼓泡法表征电磁智能材料的力电磁耦合性能，填补了国内此类仪器使用的空白。技术/产品创新性：此鼓泡仪具有以下技术优势：（1）具备多场耦合加载和多物理量耦合测试功能，有利于研究在力电磁场耦合作用下新型功能性薄膜样品的力学、电学和磁学的综合性能；（2）在现有油压鼓泡加载装置中，首次采用闭环控制方式来控制油压加载，并实现多种油压加载方式，进而拓宽了鼓泡实验装置的表征功能；（3）采用投影散斑和数字图像相关技术，实现对薄膜样品非接触式三维变形测试，并且使得位移测量精度提高到20nm。行业情况：高性能传感器、微电子器件、磁存储器等领域。