电子化学品超高纯提纯技术：福州大学寻求产业化合作
一、成果速览
福州大学化学学院开发的电子化学品超高纯提纯技术，针对半导体制造对高纯度化学品的严苛需求，通过超高纯提纯工艺使产品纯度稳定达到G4.5级、最高实现G5级，满足12英寸先进晶圆配套要求。该成果已进入产业化阶段，具备中试规模量产能力，可为集成电路产业链提供关键材料支撑。
二、技术亮点
1. 提纯工艺成熟：电子化学品提纯核心工艺已验证，产品纯度稳定在G4.5级，最高可达G5级超高纯标准。
2. 适配先进制程：产品可切入12英寸晶圆应用场景，满足半导体先进制程对材料纯度的严格要求。
3. 中试平台落地：中试创新服务平台已在福建省福州市连江县可门园区建设，支持规模化中试与产品验证。
4. 产业化进程推进：成果处于产业化阶段，具备向下游半导体电子化学品及晶圆配套企业交付的条件。
三、成熟度与应用场景
成熟度为产业化阶段。适用行业包括集成电路制造、半导体材料、电子化学品生产。应用方向覆盖12英寸晶圆清洗、刻画、薄膜沉积等环节所需的超高纯电子化学品，以及相关晶圆配套耗材与材料供应。
四、合作方式
可采用技术许可、联合研发等合作模式。有意企业可通过福州大学化学化工学院官方技术转移渠道发起对接，洽谈技术转让许可条款与合作细节。
五、平台服务提示
办厂易可联合技术转移服务机构、产业基金、园区招商伙伴，为企业与福州大学化学学院促成产学研对接，支持电子化学品超高纯提纯技术的产业化落地与项目选址。
结构化字段：
成果名称：电子化学品超高纯提纯技术
所属单位：福州大学化学学院
技术领域：电子化学品/高纯材料
成熟度：产业化阶段
核心指标：电子化学品提纯核心工艺，产品纯度稳定G4.5级、最高G5级，切入12英寸先进晶圆应用场景；中试创新服务平台落地连江可门园区。
合作方式：联合研发/技术许可
联系方式：福州大学化学化工学院官网 https://che.fzu.edu.cn/
来源URL：https://che.fzu.edu.cn/info/1091/9706.htm
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