3英寸YBCO高温超导双面薄膜制备研究

3英寸YBCO高温超导双面薄膜制备研究是成都电子科技大学在生物与新医药领域的科技成果转化项目。 YBCO高温超导薄膜具有极低的微波表面电阻，用高温超导薄膜研制的微波无源器件具有损耗低、噪声小等优点。若应用于通讯系统可大幅度提高有效通话距离、增加通话容量，改善通话质量；若应用于军事侦察系统，则可显著提高对弱信号目标的侦察能力，并增大侦察距离；因此，高温超导技术具有良好的军民两用前景。为了满足应用需求，该课题首先研制了一套可满足YBCO高温超导双面薄膜生长的专用设备-“双对靶倒筒式溅射系统”；在此基础上，该课题通过基片连续翻转实现了在基片两面的同时原位沉积，保证了双面薄膜的两面一致性；针对大尺寸薄膜的面内均匀性问题，该课题发明了“单轴驱动的调速双轴旋转技术”，使3英寸范围内薄膜的厚度偏差减小到5%、成分偏差减小到6%以内，在解决了3英寸薄膜均匀性的同时，沉积速率还提高了5倍，满足了批量生产对效率的要求。通过以上技术发明，结合加热器热场设计和工艺参数的优化，该课题研制出了高质量3英寸YBCO高温超导双面薄膜，临界电流密度分布在2-3mA/cm2，标准条件下(77K，10GHz)的微波表面电阻分布在0.24-0.37mΩ之间，达到了国际先进水平。基于该课题自主开发的技术，不仅满足了国内用户(电子科技大学微波中心、中电55所、中电16所、昆明物理研究所、南京大学等)开展器件研制的迫切需求，还通过代理公司多批次出口到欧美，获得了国内外用户的广泛肯定和好评。 该技术面向成都及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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