两自由度平面并联压电智能杆机构

两自由度平面并联压电智能杆机构是哈尔滨工业大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 该课题针对IC制芯关键装备、IC后封装设备等对高速高精度作业系统的实际需求，研制出两种基于双重驱动的高速高精度机器人系统： 一、采用直线电机和压电陶瓷双重驱动的全闭环一维直线运动系统一套，宏微驱动结合实现3nm分辨率，重复定位精度±10nm,稳定时间38ms； 二、基于直线电机及压电陶瓷驱动的两自由度平面并联机器人系统两套，运动分辨率小于1μm，刚性杆系统重复定位精度±1.5μm、稳定时间58ms；柔性杆系统采用压电智能杆，抑制末端的残余振动，重复定位精度±4.5μm，通过主动抑振，系统稳定时间由423ms提高到153ms。 在单元技术方面，研制出高性能压电陶瓷驱动电源、纳米级微驱动工作台，并已得到实际应用。同时，课题组在国内外核心以上刊物发表论文十余篇；申请国内发明专利四项；培养硕士研究生3名，博士研究生3名；在高速高精度运动机构及主动抑振等方面达到国内领先，国际先进水平。研制的微驱动机器人系统以及压电陶瓷电源在清华大学、天津大学、中国科技大学、吉林大学、北京航空航天大学、北京工业大学、上海光机所以及哈工大等单位得到了成功的应用。通过和哈工大博实精密测控有限责任公司合作，为中物院激光所研发八自由度高精度激光靶架定位系统一套。 成果的转化必然面临着来自国外同样技术在国内市场的竞争问题，这更促使课题组进一步深入研究，提高改善产品质量，优化产品性能，降低生产成本，赶超世界先进水平，以最优的性能价格比进军国内市场。高速高精度作业系统在超精密加工、精密装配、精密进给、IC封装、医疗科学以及测量等领域有着广泛的需求，例如在集成电路(IC)制造装备方面，据统计，1998年中国IC需求量已达121亿块，价值为347亿元。中国IC生产总量只有25亿块，国内产量只能满足需求的15%左右，其余全靠进口。 该技术面向哈尔滨及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

适用于先进制造与自动化相关行业的企业技术升级、新产品开发与产学研合作，帮助哈尔滨及周边企业快速获取高校院所科研成果并推动产业化落地。