一种镀铝分划制作方法

一种镀铝分划制作方法是河南平原光电有限公司在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 技术领域 本发明涉及一种镀铝分划制作方法，属于光学加工领域。 背景技术 某某产品中一分划板，在装配调试过程中屡次出现分划铬层和玻璃基底被激光打坏的现象。该产品要求激光光束（能量约为800瓦，波长为1064nm）聚焦在分划面上，因此分划面膜层需要有一定的抗激光损伤的能力。 该零件是镀铬分划板，铬膜密度要求不低于23号密度样板，23号密度的铬膜，在1064nm处的反射率R为40%左右，透过率T几乎为零，那么吸收率即达到了60%左右，膜层在吸收率高的情况下，其抗激光损伤能力一定很差，不适合用作激光环境中。 如果在吸收率低且性能同样稳定的铝膜上来做分划，既能保证分划板的功用，同时铝膜在1064nm激光点处的反射率高于80%，吸收率相对铬膜来说大幅降低，理论上要比铬膜的抗激光损伤能力强很多，采用镀铝分划板应该能够解决这个问题。由此我们研究并开发了本工艺方法。 发明内容 本发明的目的：在玻璃光坯上制作出有一定的抗激光损伤能力，且分划图案满足精度要求的分划面膜层。 为了实现镀铝分划的制作，本发明提供了一种镀铝分划制作方法，其技术方案具体为： 采用普通分划制作工艺：光刻胶：正性光刻胶；工艺流程为：镀铬→涂胶→前烘→曝光→中烘→显影→后烘→腐蚀→清洗→去胶→检验零件各项技术要求→转下一道工序。按此工艺加工后，零件出现分划铬层和玻璃基底被激光打坏的现象。我们通过试验，确定了一种镀铝分划制作方法。 具体方法是，将抛光后的玻璃光坯，采用镀铝的工艺方法进行加工，镀铝工艺流程为：清扫真空室—装填膜料—清擦基片—加热—保温—预熔膜料—真空度达到—一次镀制铝膜—一次镀制Al2O3—取件—清扫真空室—装填膜料—清擦基片—加热—保温—预熔膜料—真空度达到—二次镀制铝膜—二次镀制Al2O3—取件—（照相**后）补镀。 该技术面向郑州及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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