ZnO薄膜生长用光照MOCVD设备及其p型掺杂工艺

ZnO薄膜生长用光照MOCVD设备及其p型掺杂工艺是吉林大学在新材料领域的科技成果转化项目。 成果简介 本发明涉及一种ZnO 薄膜专用光照辅助生长金属有机物化学气相沉积（MOCVD ）设备系统及其工艺方法和p型掺杂技术。其特征是在反应室内装有光源，在反应室侧壁上装有带绝缘电极的法兰盘，还添加了光源控制电源，光源通过导线连接在绝缘电极上，再连接到光源控制电源上。本发明的优点是可以降低加热片的温度，可以快速升温，快速降温，进行衬底快速调制加热生长ZnO 薄膜；光照还有利于杂质源的离化和杂质激活；同时又能解决p型ZnO 见光退化不稳定问题，达到老化和稳定p型掺杂的目的。 该技术面向长春及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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