基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器及制备方法

基于SOI光波导的反射型热光可变光衰减器及制备方法是吉林大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 密集波分复用技术在光纤通信的迅猛发展中起了重要作用，可变光衰减器是密集波分复用系统中的关键器件之一，具有均衡光功率的作用，其重要性日益凸显。本成果研制基于SOI 的热光反射型可变光衰减器阵列，它由单模波导、渐变taper 型波导、多模波导和调制电极，整个器件集成在SOI 衬底上。采用热光反射型调制方式在原理上具有对波长不敏感的特性，可以在较宽的带宽范围内实现衰减；采用半导体的光刻和刻蚀工艺，可以精确控制波导形貌，提高器件综合性能；采用SOI 衬底，使得器件易于和其他光通信器件实现混合集成。 应用领域及市场前景 SOI 光波导可变光衰减器具有简单的结构以及高可靠性，并利于高度集成，能满足未来光通信的需求，随着技术的发展和成熟，越来越多的被关注。本成果主要目的就是制作出结构简单，可靠性高的基于SOI 的热光反射型可变光衰减器阵列，对推进我国光通信无源器件技术的发展做出贡献。 该技术面向长春及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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