微纳集成器件制备新材料新工艺研究

微纳集成器件制备新材料新工艺研究是吉林大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 成果简介 本项目面向国家紧迫需求，具体以适用于新功能器件的材料设计合成为起点，以超快激光与物质动态耦合相互作用、光场与外场协同作用调控为手段，以实现超衍射极限的激光加工分辨率为目标，开展新工艺及其应用研究。提出了表面自平滑、等弧扫描、壳层扫描等创新技术，对于聚合物等特定材料加工取得了亚20 纳米的加工分辨率，实现了以非球面微透镜、磁遥控微机械、石墨烯柔性集成器件、双光子泵浦有机半导体光电器件、竖置微孔过滤网微流控芯片和仿生功能表面为代表的一系列微纳集成新结构与新器件。 研究团队 电子科学与工程学院孙洪波教授课题组。 成果成熟度 实验室成果。 应用领域及市场前景 以实现信息、能源、环境、医学与健康等领域迫切需要但制备困难的高性能微纳集成器件为引擎，开拓了激光微纳加工技术在微光学、微机械、微电子 该技术面向长春及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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