超声辅助型高敏感度MOS气体传感器及其系统

超声辅助型高敏感度MOS气体传感器及其系统是南京航空航天大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 【技术概述】本技术利用超声分子操控技术大幅度提高MOS（金属氧化物半导体）气体传感器的敏感度。基于本技术的MOS气体传感器被称为超声辅助型MOS气体传感器。样机测试表明：与传统的MOS气体传感器相比，超声辅助型MOS气体传感器的敏感度一般要高一个数量级。 超声辅助型MOS气体传感器的工作原理是：对MOS气体传感器的敏感面施加超声辐射，利用敏感面附近的超声振动和声压正半周（气体压力增加的半周），增加单位时间中输送到敏感面上的目标气体分子数量，以提高传感器的敏感度。超声辐射由超声换能器或集成在基板上的压电励振元件产生。 超声辅助型MOS气体传感器系统的硬件包含两大部分，第一部分是MOS气体传感器（如SnO2传感器和WO3传感器等）及其控制与数据读取系统（单片机），第二部分是小型超声换能器（或压电元件）及其驱动电源。 【主要技术指标】 1. 把已商业化的MOS气体传感器的敏感度提高一个数量级或以上。 2. 把已商业化的MOS气体传感器的检测下限拓展到ppb级别。 3. 超声辅助型MOS传感系统的功耗控制在500mW以下。 【适用范围】公共安全、工业生产防护、环保检测、服装饰品有机物残留检测、母婴健康防护、居家健康以及室内车内挥发性有机物检测等。 【专利状态】已授权国家发明专利3项。 【技术状态】样品、实验室阶段。 【预期效益】本项目开发的基于超声辅助型MOS传感器可显著提高MOS气体传感器的敏感度并大幅降低其检测下限，部分替代光学和电化学气体传感器，可望在公共安全、工业生产防护、环保检测、分析检测、服装饰品有机物残留检测、母婴健康防护、个人健康、室内车内挥发性有机物检测等领域获得推广应用，为人们创造安全、环保、健康的生产和生活环境，创造良好的经济和社会效益。 其中，以超声辅助型MOS气体传感器单台生产成本30RMB，售价60 RMB，年产50万只估算，年产值可达3000万RMB。 合作方式：技术许可。 该技术面向南京及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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