ULSI超纯试剂制备工艺研究

ULSI超纯试剂制备工艺研究是上海华谊微电子化学品有限公司在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 为落实“863”项目课题组组建了“上海华谊微电子化学品有限公司”简称SMEC。建成了600平方米试验室，100平方米1000级净化室，每小时2吨高纯水装置、配置了颗粒度仪。双氧水中试指标达到合同要求，并建设了500t/y试产装置，具有科学性、先进性及创新性。盐酸、异丙醇个别阳离子指标未达标，基本符合合同要求。硫酸。氢氟酸：多项指标不合格但工艺科学、先进。应完善装备增加自净过程。颗粒度因自制过滤器而未达标，应添置可靠成熟的过滤器解决颗粒度问题。检测工作和学校、研究所协作攻关。个别分析方法还未完全解决，有待建立统一分析方法及标准化体系。在“863”成果基础上，“万吨级微电子化学品”项目已于2004年2月立项批准。2006年初建成。实现产业化。具有专用原料配套优势，工艺技术科学，先进。课题培养了2名博士、4名硕士。为产业化项目培养了科技人员，管理人员，操作人员，为产业化打下了扎实的基础。 合作方式：技术转让。 该技术面向上海及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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