面向绿色生产的微纳柔性制造的研究与应用

面向绿色生产的微纳柔性制造的研究与应用是苏州苏大维格光电科技股份有限公司在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 主要技术内容： 该项目是“面向绿色生产的微纳柔性制造”平台技术研发和应用。 微纳制造技术在柔性电子、新型3D显示和国防科技等领域发挥重要作用。如何实现无排放微纳制造是国际性难题。在国家“863计划”先进制造领域重大项目等支持下，该项目面向“绿色生产”，设计先进工艺方法与过程，研发微纳装备，攻克“光场调控的纳米光刻、微纳灰度3D直写、柔性纳米压印/转印、微纳增材制造”的关键技术瓶颈，以“模块化、知识密集、可升级和快速配置”的模式，建立柔性创新平台，实现了微纳材料和器件的绿色制造和产业应用，为下一阶段中国柔性光电子产业的创新发展提供了重要技术支撑。 技术经济指标： 1、关键技术指标： (1)综合功能指标。支持微纳结构数字化制造，包括多层图形化金属-介质、单/双面和3D形貌等结构。结构：X-Y>90nm, Z15μm，面积90nm）调制精度1nm！深度分辨率10nm（变脉冲能量曝光速率5000帧/s）。微纳3D直写设备，发明二元数字光场脉冲叠加曝光模式（数据分辨率100nm），解决了3D形貌高速化灰度直写难题，3D形貌深度0-50μm，该方法比步进灰度光刻提高1个量级以上！ (2)柔性纳米压印/转印技术。a）多层图形化结构的纳米印刷。对于红、绿、蓝的微腔（表面吸收层6-10nm），用低表面能柔性模具UV纳米压印/转印， 速率达60m/分，寿命>10万米，实现了批量化微纳图像的设计制造。（b）双面纳米直接压印技术。压印速率8秒@15.6吋 ～ 20秒@55吋，基材厚度0.15-0.3mm@12.3吋@PC@导光板（膜）。通过“遗传算法”优化数据处理、导光均匀度>89%（13点测试），55吋模具（微透镜）加工仅12小时，比国际先进水平提高2倍。 合作方式：技术转让。 该技术面向苏州及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

适用于先进制造与自动化相关行业的企业技术升级、新产品开发与产学研合作，帮助苏州及周边企业快速获取高校院所科研成果并推动产业化落地。