大直径晶体生长控制关键技术研究

大直径晶体生长控制关键技术研究是西安理工大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 本项目属晶体生长设备关键控制技术领域。针对大直径晶体生长设备关键控制技术和工艺进行研究，主要完成了如下任务： 1）设计高效加热电源； 2）设计了加热器温度控制系统； 3）设计了4个自由度6个电动机控制控制系统； 4）设计了晶体生长控制和等径控制软件； 5）设计了炉膛压力控制算法。给出了提供完整的晶体生长控制方案和高效率加热电源设计方案。利用所提出方案成空拉制出符合集成电路微观指标要求的单晶棒，开发的液面测量装置获得了国际知名单晶炉企业的高度评价。 该项目依托晶体生长设备陕西省工程技术研究中心完成，该项目的顺利完成为陕西省高端晶体生长设备的制造提供了良好契机，为进一步在陕西延长产业链实现集成电路用硅材料的产业化生产奠定了良好基础。 进一步对控制系统硬件可靠性进行拉晶考验，并寻找风险投资等社会基金投入组建高端晶体生长设备的制造公司，可更好服务陕西。 该技术面向西安及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

适用于先进制造与自动化相关行业的企业技术升级、新产品开发与产学研合作，帮助西安及周边企业快速获取高校院所科研成果并推动产业化落地。