微机械变压器及其制作方法

微机械变压器及其制作方法是西北工业大学在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 本发明公开了一种微机械变压器及其制作方法，属于智能微型器件领域。该微机械变压器的第三导体3位于基底4上，与外界地相连；第一导体1与第二导体2均通过锚点6悬置于基底4上，第一导体1输入电压Vin，第二导体2输出感应电压Vinduc。各导体两两之间构成平板电容。此外，该变压器还可以通过更多悬置导体的形式得到多级变压器。该微机械变压器可以通过以下工艺过程得到：基底上生长薄膜、刻蚀、结构材料上刻蚀锚点、键合、减薄、刻蚀结构材料。本发明提出的新型微机械变压器具有结构设计简单、工艺成熟、体积小等优点，同时很容易扩展成多级变压器，在设计片上型多输出、复杂能源系统领域具有较好的应用前景。 该技术面向西安及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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