并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器

并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器是浙江汇林科技孵化园有限公司在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 目前，我国精密制造和微电子行业需要的高端设备较多从发达国家进口，但由于涉及国防军工用途，国外厂商受其政府规定限制，对我国的发展产生严重的制约作用。在超精密设备或仪器中，导轨和轴系是最为关键的基础技术。其中，实现无摩擦润滑首选气体静压润滑技术，是实现纳米级的位移分辨力最为可行的方案。节流器是使外部加压气体进入轴承间隙前，产生节流效果、并形成具有一定承载能力及刚度的稳定润滑气膜的装置。常用的节流方式有小孔式，狭缝式，多孔质等。本成果完成了并行多微通道式层流型止推用气体静压节流器的研制，多微通道式气体静压节流器采用多个微通道进行节流，相比传统的小孔节流器可以有效规划气体流向，减小气膜振动， 从而改善气体静压系统刚度和稳定性这一对矛盾。具有很好的应用及产业化前景，可实现良好的经济效益，对我国超精密工程技术领域的进步具有重要意义。本成果已发表相关学术论文5篇，授权专利2项，相关指标已达到国际水平。 合作方式：技术许可。 该技术面向杭州及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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