基于MEMS谐振子的高性能射频微纳谐振器件

基于MEMS谐振子的高性能射频微纳谐振器件是中国科学院半导体研究所在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 一、项目背景 高度集成化、小型化、高频率、低功耗是未来无线通信系统发展的必然趋势。射频收发组件小型化的关键技术瓶颈是滤波器和振荡器的性能限制。基于MEMS谐振子的高性能射频微纳谐振器件是能取代基于陶瓷、石英等材料的片外振荡器和滤波器的理想元件。针对高性能射频微纳谐振器件的关键科学和技术问题进行了系统研究。 二、项目简介 发展了提高谐振频率的新方法，在新型谐振原理和高Q值的实现方面取得了实质性突破，制作了高谐振频率（最高> 400 MHz）、高Q值（最高>1000）的圆盘谐振子。研究了射频微弱信号的高保真检测方法，研究了正反馈驱动和温度补偿方法，研制了高性能MEMS振荡器，为大规模制造可集成的高性能射频微纳谐振器件奠定了基础。 技术特点：可集成的高性能微纳机电射频谐振器件是目前已知技术方案中能满足未来无线通信发展要求的理想器件。具有以下优势： 1、 具有高品质因子Q，提高电路和系统性能； 2、 与IC工艺兼容，易实现单片集成和系统小型化，降低成本； 3、可控制性（自开关）；可扩展性（带宽、频率可调）；可补偿性（温度补偿电路，频率输出一致性），可简化射频电路和系统。 三、市场前景 在过去60年中，石英作为时钟市场的主流技术，一直占据着霸主地位。但由于其受到传统制造工艺的限制以及下游原材料(起振电路和基座)市场的垄断，因此性价比无法进一步提升。为了满足电子市场对元器件提出的更小、更可靠、更灵活的需求，时钟组件必须走上全面硅化的道路。与传统石英相比，全硅MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件设计结构上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。 MEMS振荡器已占据石英晶振中端产品的市场，正在逐渐进入高端和低端产品市场。 合作方式：技术转让,技术许可。 该技术面向北京及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

适用于先进制造与自动化相关行业的企业技术升级、新产品开发与产学研合作，帮助北京及周边企业快速获取高校院所科研成果并推动产业化落地。