紫外深层光刻机

紫外深层光刻机是中国科学院光电技术研究所在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 本机是中科院光电技术研究所发挥微细加工光刻设备研制技术优势，据市场需求开展创新应用研制成功的一种新型深紫外（365nm）光刻设备。具有分辨率高，套刻准，线条陡直，线条高宽比大，曝光速度快，自动化程度和可靠性高等特点。微电子，微光学、微机械系统、MEMS、红外器件、光学分刻板、生物芯片、准LIGA及声表面波等器件的研制和生产深层光刻中具有突出的功能和用途。采用微机控制，光学系统采用特殊的消衍射和线条陡直增强技术及曝光均匀性和能量自动检测系统等。 该技术面向北京及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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