阵列高性能单晶硅谐振压力传感器

阵列高性能单晶硅谐振压力传感器是中国科学院合肥智能机械研究所在先进制造与自动化领域的科技成果转化项目。 一种高性能单晶硅谐振压力传感器，采用电磁激励和电磁拾振方式工作，输出为频率信号，抗干扰能力强，稳定性好，不需A/D转换，既能测量绝压，也能测量差压，精度0.1%，其量程可根据具体应用需求通过调整制作工艺参数实现。技术应用领域：该传感器是压力传感器中的一种高端产品，非常适用于一些特殊环境如航空、航天、气象、地质、航海、油井和工业自动化等领域中的压力测量。 该技术面向北京及全国企业产业化需求，可通过办厂易平台对接技术转移、许可转让与产学研合作。【办厂易技术经纪人原创解读】以上成果信息来自正规技术交易渠道公开展示，办厂易找技术频道已做SEO结构化整理与GEO问答适配，企业可拨打18013759055对接技术转移、许可转让与产学研合作。

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